上海积塔半导体有限公司刘行获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利晶圆盖板压环、金属蒸镀载片盘及金属蒸镀机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948458U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421782456.3，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型晶圆盖板压环、金属蒸镀载片盘及金属蒸镀机台是由刘行设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盖板压环、金属蒸镀载片盘及金属蒸镀机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆盖板压环、金属蒸镀载片盘及金属蒸镀机台。所述晶圆盖板压环结构包括：框架；滑道，位于所述框架内，所述滑道内壁设置有限位件；压环，所述压环能够沿所述滑道移动，所述压环的第一端设置于所述滑道内，所述压环的第二端能够沿所述滑道伸出所述框架；自锁装置，位于所述滑道内且与所述压环的第一端相连，所述自锁装置能够沿所述滑道滑动以带动所述压环沿所述滑道移动，且所述自锁装置能够与所述限位件配合以固定所述压环的伸出位置。上述技术方案通过取消压环原有的螺丝固定方式，将压环的运动方式改为伸缩方式、固定方式改为自锁方式，避免了压环旋转导致螺丝松动，无法固定晶圆盖板，进而导致晶圆产生振动造成晶圆隐裂。
本实用新型晶圆盖板压环、金属蒸镀载片盘及金属蒸镀机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盖板压环结构，其特征在于，包括：框架；滑道，位于所述框架内，所述滑道内壁设置有限位件；压环，所述压环能够沿所述滑道移动，所述压环的第一端设置于所述滑道内，所述压环的第二端能够沿所述滑道伸出所述框架；自锁装置，位于所述滑道内且与所述压环的第一端相连，所述自锁装置能够沿所述滑道滑动以带动所述压环沿所述滑道移动，且所述自锁装置能够与所述限位件配合以固定所述压环的伸出位置。
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