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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利一种匹配器及等离子体产生装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222954003U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421787968.9，技术领域涉及：H03H11/28；该实用新型一种匹配器及等离子体产生装置是由乐卫平;唐亚海;姚志毅;杨靖设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种匹配器及等离子体产生装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种匹配器及等离子体产生装置，涉及阻抗匹配技术领域，匹配器包括主控电路、第一开关电路、第二开关电路、第一电压检测电路和第二电压检测电路，第一电压检测电路的检测端与第一开关电路的输入端电连接，第一电压检测电路的输出端与主控电路的检测端电连接；第二电压检测电路的检测端与第二开关电路的输入端电连接，第二电压检测电路的输出端与主控电路的检测端电连接，当第一开关电路的输入端的电压大小为零时，主控电路控制第二开关电路导通；当第二开关电路的输入端的电压大小为零时，主控电路控制第一开关电路导通；本实用新型旨在解决射频电源由于半桥或全桥驱动电路存在逆流现象导致其输出功率较低的问题。

本实用新型一种匹配器及等离子体产生装置在权利要求书中公布了：1.一种匹配器，其特征在于，包括：阻抗匹配电路；主控电路；第一开关电路，所述第一开关电路的输入端与外部电源的正极连接，所述第一开关电路的输出端与所述阻抗匹配电路的第一端电连接，所述第一开关电路的受控端与所述主控电路的控制端电连接，外部电源的正极还与所述阻抗匹配电路的第二端电连接；第二开关电路，所述第二开关电路的输入端分别与所述第一开关电路的输出端和所述阻抗匹配电路的第一端电连接，所述第二开关电路的输出端分别与所述阻抗匹配电路的第二端和外部电源的负极电连接，所述第二开关电路的受控端与所述主控电路的控制端电连接；第一电压检测电路，所述第一电压检测电路的检测端与所述第一开关电路的输入端电连接，所述第一电压检测电路用于检测所述第一开关电路的输入端的电压并输出相应的第一电压检测信号，所述第一电压检测电路的输出端与所述主控电路的检测端电连接；第二电压检测电路，所述第二电压检测电路的检测端与所述第二开关电路的输入端电连接，所述第二电压检测电路用于检测所述第二开关电路的输入端的电压并输出相应的第二电压检测信号，所述第二电压检测电路的输出端与所述主控电路的检测端电连接；当所述第一开关电路的输入端的电压大小为零时，所述主控电路控制所述第二开关电路导通；当所述第二开关电路的输入端的电压大小为零时，所述主控电路控制所述第一开关电路导通。

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