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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948466U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421750906.0，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种化学气相沉积设备是由邓超;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，包括腔体、加热盘、驱动装置及喷淋头；加热盘包括圆盘、空心轴、加热管及温度传感器；空心轴外壁上设有滑环组件，加热管的正极导线和负极导线从空心轴底端开口穿出后连接滑环组件。滑环组件包括同轴套设在空心轴上的绝缘轴套、正极滑环、绝缘隔套、负极滑环及绝缘套管；绝缘轴套与空心轴固连；正极滑环、绝缘隔套、负极滑环依次同轴套设在绝缘轴套上，正极滑环、绝缘隔套、负极滑环均与绝缘轴套固连；绝缘套管沿绝缘轴套轴线方向穿过负极滑环，正极导线依次穿过绝缘套管和绝缘隔套后连接正极滑环，负极导线连接负极滑环。本实用新型解决了加热盘动态旋转时导线容易缠绕而影响电路供电的技术问题。

本实用新型一种化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：腔体1、加热盘2、驱动装置3及喷淋头4；所述加热盘2用于承载并加热放入所述腔体1内的晶圆，所述加热盘2包括：圆盘21、空心轴22、加热管23及温度传感器24；所述空心轴22外壁上设有滑环组件，所述加热管23的正极导线和负极导线从所述空心轴22的底端开口穿出后连接所述滑环组件；所述滑环组件包括：同轴套设在所述空心轴22上的绝缘轴套251、正极滑环252、绝缘隔套253、负极滑环254以及绝缘套管255；所述绝缘轴套251与所述空心轴22固定连接；所述正极滑环252、绝缘隔套253、负极滑环254依次同轴套设在所述绝缘轴套251上，所述正极滑环252、绝缘隔套253、负极滑环254均与所述绝缘轴套251固定连接；所述绝缘套管255沿所述绝缘轴套251轴线方向穿过所述负极滑环254，所述加热管23的正极导线依次穿过所述绝缘套管255和所述绝缘隔套253后连接所述正极滑环252，所述加热管23的负极导线连接所述负极滑环254；所述驱动装置3驱动所述空心轴22转动；所述喷淋头4用于向所述腔体1内通入工艺气体。

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