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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种用于加热盘的加热管结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948473U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421750908.X，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型一种用于加热盘的加热管结构是由邓超;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于加热盘的加热管结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于加热盘的加热管结构，包括同心且半径依次增大的内圈、中圈及外圈。内圈开设第一缺口形成内弧形管段。第二缺口和第三缺口将中圈分为关于基准对称面对称的两段中弧形管段。第四缺口和第五缺口将外圈分为关于基准对称面对称的两段外弧形管段。内弧形管段的一端通过第一过渡管段连通相邻中弧形管段的第一连接端，第二连接端通过第二过渡管段连通相邻外弧形管段的第四连接端，第三连接端通过第三过渡管段连通有直线管段，直线管段从第一缺口和第二缺口穿过后延伸至内弧形管段的内圈。直线管段依次包括加热段和冷段，冷段远离第三过渡管段。本实用新型有利于加热盘温度保持均匀进而能够均匀加热整个晶圆。

本实用新型一种用于加热盘的加热管结构在权利要求书中公布了：1.一种用于加热盘的加热管结构，其特征在于，包括同心设置且半径依次增大的内圈、中圈及外圈；所述内圈开设有第一缺口而形成内弧形管段231，所述内弧形管段231沿铅垂方向的对称面为基准对称面；所述中圈上设有位置相对的第二缺口和第三缺口，所述第二缺口对应所述第一缺口，所述第二缺口和第三缺口将所述中圈分为关于所述基准对称面对称的两段中弧形管段232，所述中弧形管段232朝向所述第二缺口的端部为第一连接端2321、朝向所述第三缺口的端部为第二连接端2322；所述外圈上设有位置相对的第四缺口和第五缺口，所述第四缺口对应所述第二缺口，所述第四缺口和第五缺口将所述外圈分为关于所述基准对称面对称的两段外弧形管段233，所述外弧形管段233朝向所述第四缺口的端部为第三连接端2331、朝向所述第五缺口的端部为第四连接端2332；所述内弧形管段231的一端通过第一过渡管段234连通相邻所述中弧形管段232的所述第一连接端2321，所述第二连接端2322通过第二过渡管段235连通相邻所述外弧形管段233的所述第四连接端2332，所述第三连接端2331通过第三过渡管段236连通有直线管段237，所述直线管段237从所述第一缺口和第二缺口穿过后延伸至所述内弧形管段231的内圈；所述直线管段237依次包括加热段2371和冷段2372，所述冷段2372远离所述第三过渡管段236。

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