长电集成电路(绍兴)有限公司陆洋获国家专利权
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龙图腾网获悉长电集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种半导体晶圆倒片机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222953056U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421733123.1,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种半导体晶圆倒片机是由陆洋;张梦杰;陈伟;张孝伟设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆倒片机在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆搬运装置的技术领域,尤其是涉及一种半导体晶圆倒片机包括机台,所述机台中部沿水平方向滑移设置有安装台,所述安装台用于连接晶圆盒,所述机台中部具有倒片选择槽,位于所述倒片选择槽两侧的安装台相向或相背运动,所述机台的两端具有伸缩件,以使得所述机台倾斜。本申请具有以下效果:在需要进行倒片时,将两个对应的晶圆盒放置在机台的两侧,两个晶圆盒将会在机台上相向运动,运动至中间处进行汇合,此时通过倒片选择槽,可连通两侧的晶圆盒,通过伸缩件使得机台的其中一侧抬起,从而倾斜形成高低差,使得一侧晶圆盒内的晶圆滑动至另一侧的晶圆盒中,实现较为方便的倒片操作。
本实用新型一种半导体晶圆倒片机在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆倒片机,包括机台(100),其特征在于:所述机台(100)中部沿水平方向滑移设置有安装台(111),所述安装台(111)用于连接晶圆盒,所述机台(100)中部具有倒片选择槽(116),位于所述倒片选择槽(116)两侧的安装台(111)相向或相背运动,所述机台(100)的两端具有伸缩件,以使得所述机台(100)倾斜。
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