无锡奥特维捷芯科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥特维捷芯科技有限公司申请的专利一种保持环、研磨头机构及研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222945234U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421714620.7,技术领域涉及:B24B37/32;该实用新型一种保持环、研磨头机构及研磨装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种保持环、研磨头机构及研磨装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种保持环、研磨头机构及研磨装置,该保持环至少与抛光垫接触的表面的材质与作为研磨对象的晶片的材质相同。通过至少将保持环与抛光垫接触的表面使用与作为研磨对象的晶片相同材质制作,能够消除抛光垫表面与保持环表面接触的部分和抛光垫表面与晶片表面接触的部分之间的温度差异。此外,能够将保持环的厚度控制为相对于晶片厚度的最佳值,最终提供一种能够提高晶片整体平坦度且能够抑制边缘塌边的保持环。
本实用新型一种保持环、研磨头机构及研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种保持环,其特征在于,所述保持环用于晶片研磨装置上,所述保持环至少与抛光垫接触的表面的材质与作为研磨对象的晶片的材质相同,其中:所述保持环为圆环状并且所述保持环整体的材质与所述晶片的材质相同,所述保持环的厚度等于或大于待研磨的晶片的厚度,或者,所述保持环包括以树脂为材质的圆环状部件和与所述晶片相同材质的接触层,所述接触层配置在所述圆环状部件的下表面。
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