星钥(珠海)半导体有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉星钥(珠海)半导体有限公司申请的专利一种晶圆传输装置和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953055U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421710866.7，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆传输装置和半导体设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输装置和半导体设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体领域，公开了一种晶圆传输装置和半导体设备，包括：托盘，用于承载晶圆，包括可分离的底座和外环；外环设于底座的周围；转移部件，用于将晶圆和目标部件一同转移至暂存区，并将晶圆传输至第一目标位置；和或，用于将晶圆转移至位于暂存区的目标部件上，并将晶圆和目标部件一同转移至第二目标位置；其中，目标部件为底座或者外环。托盘包括可分离的底座和外环，转移部件可以将晶圆和目标部件一起转移至暂存区，再将晶圆单独转移至第一目标位置，转移部件还可以将晶圆转移至暂存区的目标部件上，再将晶圆和目标部件一起转移至第二目标位置，实现晶圆的自动取放，无需人工转移晶圆，提升晶圆取放速度，提升晶圆产品的良率。
本实用新型一种晶圆传输装置和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括：托盘，用于承载晶圆，包括可分离的底座和外环；所述外环设于所述底座的周围；转移部件，用于将所述晶圆和目标部件一同转移至暂存区，并将所述晶圆传输至第一目标位置；和或，用于将所述晶圆转移至位于暂存区的目标部件上，并将所述晶圆和目标部件一同转移至第二目标位置；其中，所述目标部件为所述底座或者所述外环。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星钥(珠海)半导体有限公司，其通讯地址为：519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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