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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种双面卷绕磁控溅射镀膜机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222948454U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421691495.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种双面卷绕磁控溅射镀膜机是由黄超哲;蔡海军;韩正思;黄周师;何坤鹏设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双面卷绕磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种双面卷绕磁控溅射镀膜机，涉及真空镀膜技术领域，包括真空系统、卷绕系统、预清洗系统以及溅射镀膜系统；真空系统具有收放卷腔、第一预处理腔、第二预处理腔、第一溅射腔以及第二溅射腔；第一预处理腔中安装有第一镀膜辊；第二预处理腔中安装有第二镀膜辊；溅射镀膜系统包括第一溅射装置以及第二溅射装置；第一溅射装置安装于第一溅射腔中，用于对输送经过的卷材的第一面进行溅射镀膜；第二溅射装置安装于第二溅射腔中，用于对输送经过的卷材的第二面进行溅射镀膜；预清洗系统包括第一清洗装置以及第二清洗装置；第一清洗装置安装于第一预处理腔中；第二清洗装置安装于第二预处理腔中；提高了镀膜效率和产品质量，降低了生产成本。

本实用新型一种双面卷绕磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种双面卷绕磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括真空系统、卷绕系统、预清洗系统以及溅射镀膜系统；所述真空系统具有收放卷腔、第一预处理腔、第二预处理腔、第一溅射腔以及第二溅射腔；所述第一预处理腔中安装有第一镀膜辊（241）；所述第一镀膜辊（241）的部分延伸至所述第一溅射腔中；所述第二预处理腔中安装有第二镀膜辊（242）；所述第二镀膜辊（242）的部分延伸至所述第二溅射腔中；所述卷绕系统用于输送卷材（8），并使卷材（8）的第二面贴合着所述第一镀膜辊（241）地绕经所述第一镀膜辊（241），以及使得卷材（8）的第一面贴合着所述第二镀膜辊（242）地绕经所述第二镀膜辊（242）；所述溅射镀膜系统包括第一溅射装置以及第二溅射装置；所述第一溅射装置安装于所述第一溅射腔中，用于对输送经过的卷材（8）的第一面进行溅射镀膜；所述第二溅射装置安装于所述第二溅射腔中，用于对输送经过的卷材（8）的第二面进行溅射镀膜；所述预清洗系统包括第一清洗装置（411）以及第二清洗装置（412）；所述第一清洗装置（411）安装于所述第一预处理腔中，用于对镀膜前输送经过的卷材（8）的第一面进行清洗；所述第二清洗装置（412）安装于所述第二预处理腔中，用于对镀膜前输送经过的卷材（8）的第二面进行清洗。

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