珠海广浩捷科技股份有限公司肖赖发获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海广浩捷科技股份有限公司申请的专利一种硅片棱边和倒角的检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222951713U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421682314.X,技术领域涉及:G01B11/26;该实用新型一种硅片棱边和倒角的检测装置是由肖赖发;陈康设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片棱边和倒角的检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种硅片棱边和倒角的检测装置,包括传送带和两块相对设置的支撑板,传送带传输上游流来的硅片,传送带位于两块支撑板之间,两块支撑板之间安装有条形光源和反射机构,两块支撑板上均安装有倒角光源组件,两块支撑板的顶端之间固定连接有顶板,顶板的顶部安装有检测相机,顶板的顶部设有对准检测相机的缝隙,其中:条形光源用于照亮硅片的前棱边和后棱边;倒角光源组件用于照亮硅片的倒角;反射机构用于将硅片的前棱边和后棱边照亮后的光线经过一次反射被检测相机采集,以及将硅片的倒角照亮后的光线经过一次反射被检测相机采集;本实用新型实现对硅片的成像投影只需要进行一次反射,降低了设备内部的复杂性,维护简单。
本实用新型一种硅片棱边和倒角的检测装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片棱边和倒角的检测装置,其特征在于,包括传送带1和两块相对设置的支撑板2,传送带1传输上游流来的硅片3,传送带1位于两块支撑板2之间,两块支撑板2之间安装有条形光源4和反射机构,两块支撑板2上均安装有倒角光源组件,两块支撑板2的顶端之间固定连接有顶板5,顶板5的顶部安装有检测相机6,顶板5的顶部设有对准检测相机6的缝隙,其中:条形光源4用于照亮硅片3的前棱边和后棱边;倒角光源组件用于照亮硅片3的倒角;反射机构用于将硅片3的前棱边和后棱边照亮后的光线经过一次反射被检测相机6采集,以及将硅片3的倒角照亮后的光线经过一次反射被检测相机6采集。
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