华虹半导体(无锡)有限公司张言睿获国家专利权
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龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利光罩夹取装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222952585U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421679776.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光罩夹取装置是由张言睿;高中原;崔振星设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩夹取装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种光罩夹取装置，包括：框架、连杆、至少两个气缸、可伸缩导轨和若干真空吸盘，其中框架包括：横框部和竖框部，可伸缩导轨安装在竖框部的顶端内侧和所述连杆之间，气缸并排并且间隔安装在连杆和竖框部的底端内侧之间，真空吸盘均匀地安装在所述横框部的底端外侧。本申请通过向上挤压连杆，使得连杆在受力时沿可伸缩导轨向上移动，带动气缸的活塞移动，使气缸内产生真空吸力并传递至真空吸盘，利用真空吸盘将掩模台上的光罩吸住，从而顺利夹取光罩，解决了因掩模台上方操作空间空间狭小，采用人工用手直接拿取掩模台上的光罩非常不便，容易失误造成光罩损坏的问题。
本实用新型光罩夹取装置在权利要求书中公布了：1.一种光罩夹取装置，其特征在于，包括：框架、连杆、至少两个气缸、可伸缩导轨和若干真空吸盘，其中，所述框架包括：横框部和竖框部，所述竖框部安装在所述横框部的中间位置，其中，所述可伸缩导轨安装在所述竖框部的顶端内侧和所述连杆之间，所述气缸并排并且间隔安装在所述连杆和所述竖框部的底端内侧之间，所述真空吸盘均匀地安装在所述横框部的底端外侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华虹半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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