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龙图腾网获悉滁州华瑞微电子科技有限公司申请的专利一种高效自动化半导体甩干设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118896457B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410941997.4，技术领域涉及：F26B5/08；该发明授权一种高效自动化半导体甩干设备是由胡振华;刘明强设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高效自动化半导体甩干设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种高效自动化半导体甩干设备，涉及半导体制造设备技术领域，本申请通过对现有技术中的晶圆自动甩干装置的结构进行优化改进，利用开设在转动盘上表面的凹槽限位圆晶框，通过在圆晶框上施加压力的方式配合圆晶框所受离心力完成圆晶框的固定；利用转运小车转运圆晶框；实现了高效自动化半导体甩干设备结构相对较为简单、维护便捷且运行可靠的技术效果。

本发明授权一种高效自动化半导体甩干设备在权利要求书中公布了：1.一种高效自动化半导体甩干设备，其特征在于：包括基台100、转动盘200、圆晶框300、下压限位组件、夹紧移位组件、输送带组件500；所述转动盘200水平设置，绕自身轴线转动连接在所述基台100上，上表面等间距设有三个或三个以上的限位定位槽210，限位定位槽210整体为长条形，靠近转动盘200的边缘设置，彼此之间间距相等，长度方向与转动盘200的轴线垂直，与底凸块310相匹配；所述限位定位槽210的槽底为平面，开口朝上；所述圆晶框300为矩形块状框体，底面固定有矩形块状的底凸块310；所述下压限位组件用于通过在圆晶框300的顶部施压的方式进一步的限制圆晶框300在甩干过程中发生移位，主体为杆体与板体的组合，固定在转动盘200的顶部；所述夹紧移位组件用于来回转移输送带组件500及转动盘200上的圆晶框300，主体为带有夹子的移动小车；所述输送带组件500定位在地面上，用于输送圆晶框300，输送带组件500的输送带上等间距的设有用于供底凸块310插入的插入槽510；还包括存储桶700；所述存储桶700为顶部开口的圆桶，埋于地中；所述存储桶700的内底上设有托举顶升组件710；所述基台100的底部固定在托举顶升组件710的顶部；所述转动盘200的数量为多个，均水平设置，呈一列排列，彼此之间间距相等，位于最底部的转动盘200定位在基台100上；转动盘200之间通过连接杆220固定在一起；所述转动盘200上靠近边缘的位置设有贯穿孔230；”还包括环形片体730和泵气组件750；所述环形片体730为弹性橡胶材质的环形片体，数量为多个，边缘固定在存储桶700的内侧壁上且呈一列设置；所述泵气组件750控制每个环形片体730围成空间内的气体量进而控制环形片体730进行胀缩；还包括转动台250和施力盘260；所述限位定位槽210的放入部211及引导部212的槽底设有一个装入孔240，装入孔240为通孔，用于安装转动台250；所述转动台250为圆柱形，顶面为平面，插入并安装在装入孔240中，与装入孔240之间设有轴承；所述转动台250的顶面与限位定位槽210的槽底共面；转动台250的顶面直径大于底凸块310底面的外接圆直径；所述施力盘260为圆盘形，水平设置，固定在转动台250的底部且与转动台250同轴，并从转动盘200的边缘露出；进行设备的浸泡清洁时，利用环形片体730胀大将底凸块310推至放入部211，并利用环形片体730胀缩配合转动盘200的升降实现圆晶框300在转动盘200上的转动。

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