上海卓晶半导体科技有限公司张旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海卓晶半导体科技有限公司申请的专利一种激光直写多光束刻写系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222952584U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421672935.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种激光直写多光束刻写系统是由张旭东设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光直写多光束刻写系统在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种激光直写多光束刻写系统，该系统包括光源发生装置、光源分光装置、光束调控装置、倍率调整装置、反射折向装置及光束聚焦装置，该激光直写多光束刻写系统采用AOM分光镜将激光发生器发出的激光光束分隔形成多路光束，还采用多件AOD调光镜对各路光束分别进行能量和偏振角实时处理，使其达到刻写要求，并且由各AOD调光镜分别对各光束的开闭状态进行切换，当需要刻写最细线条时打开单路光束，当刻写粗线时打开所有光束，有利于提升刻写效率，并且降低设备成本。
本实用新型一种激光直写多光束刻写系统在权利要求书中公布了：1.一种激光直写多光束刻写系统，其特征在于，包括：光源发生装置，该光源发生装置通过活动连接结构安装于光刻机中，可在光刻机中运动，由光源发生装置产生光源；光源分光装置，该光源分光装置通过活动连接结构安装于光刻机中，并与光源发生装置适配，其可在光刻机中伴随光源发生装置一同运动，由光源分光装置将光源发生装置产生的光源分成若干路独立光束；光束调控装置，该光束调控装置安装于光刻机中，并与光源分光装置适配，由光束调控装置对光源分光装置形成的光束进行调控；倍率调整装置，该倍率调整装置安装于光刻机中，并与光束调控装置适配，由倍率调整装置对光束调控装置调控后的光束进行调整，使其形成不同直径的光束；反射折向装置，该反射折向装置安装于光刻机中，并与倍率调整装置适配，由反射折向装置对倍率调整装置调整后的光束进行反射，使其光路折向；光束聚焦装置，该光束聚焦装置安装于光刻机中，并与反射折向装置适配，由光束聚焦装置对反射折向装置反射后的光束进行聚焦。
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