中芯国际集成电路制造(上海)有限公司李一凡获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种喷帘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222952586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421662939.X，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种喷帘装置是由李一凡设计研发完成，并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷帘装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种喷帘装置，设置在显影装置的腔室内，用于向光掩模喷射显影液，包括：顶盖，所述顶盖与所述腔室的内侧壁连接；主体，所述主体的第一端与所述顶盖的底端连接，所述主体的侧壁设有若干喷射孔；导流件，所述导流件包括连接部以及与所述连接部的第一端固定连接的导流部，所述连接部与所述顶盖的底端固定连接，所述导流部表面与所述喷射孔正对。所述喷帘装置简化了显影液喷帘形状的调试流程，同时提高显影装置后期维护工作的便捷性。
本实用新型一种喷帘装置在权利要求书中公布了：1.一种喷帘装置，设置在显影装置的腔室内，用于向光掩模喷射显影液，其特征在于，包括：顶盖，所述顶盖与所述腔室的内侧壁连接；主体，所述主体的第一端与所述顶盖的底端连接，所述主体的侧壁设有若干喷射孔；导流件，所述导流件包括连接部以及与所述连接部的第一端固定连接的导流部，所述连接部与所述顶盖的底端固定连接，所述导流部表面与所述喷射孔正对。
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