无锡奥特维捷芯科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥特维捷芯科技有限公司申请的专利一种缺料检测机构、上料机构及晶圆抛光机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222945240U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421635486.1,技术领域涉及:B24B41/00;该实用新型一种缺料检测机构、上料机构及晶圆抛光机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种缺料检测机构、上料机构及晶圆抛光机在说明书摘要公布了:本申请公开了一种缺料检测机构、上料机构及晶圆抛光机,该缺料检测机构包括基座、承载件和第一检测组件,承载件安装在基座上,承载件用于承载装有晶圆的晶圆盒;第一检测组件可升降地设置在承载件的一侧并且第一检测组件的检测端朝向承载件上装有晶圆的晶圆盒的开口侧,第一检测组件用于在升降过程中从晶圆盒的开口侧对承载件上的晶圆盒内的所有沟槽实施扫描,以检测晶圆盒的所有沟槽内的有料情况。上述缺料检测机构通过第一检测组件对晶圆盒的所有沟槽实施扫描,实现了单次完成对晶圆盒的所有沟槽内是否缺料的自动检测,根据检测结果,搬运机构可仅对晶圆盒内装有晶圆的沟槽实施上料操作,减少停顿时间,提高了晶圆的上料效率。
本实用新型一种缺料检测机构、上料机构及晶圆抛光机在权利要求书中公布了:1.一种缺料检测机构,其特征在于,所述缺料检测机构包括基座、承载件和第一检测组件,其中:所述承载件安装在所述基座上,所述承载件被配置为承载装有晶圆的晶圆盒;所述第一检测组件可升降地设置在所述承载件的一侧并且所述第一检测组件的检测端朝向所述承载件上装有晶圆的晶圆盒的开口侧,所述第一检测组件被配置为在升降过程中从所述晶圆盒的开口侧对所述承载件上的晶圆盒内的所有沟槽实施扫描,以检测所述晶圆盒的所有沟槽内的有料情况。
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