无锡奥特维捷芯科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥特维捷芯科技有限公司申请的专利一种抛光头机构及晶圆抛光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222945253U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421629321.3，技术领域涉及：B24B41/06；该实用新型一种抛光头机构及晶圆抛光机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光头机构及晶圆抛光机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种抛光头机构及晶圆抛光机，抛光头机构包括基板、第一驱动件和n套抛光头组件，每套抛光头组件包括装配件、抛光头和第二驱动件，抛光头安装在装配件上，抛光头被配置为拾取待抛光的晶圆以及配合抛光盘对拾取的晶圆实施抛光，装配件可相对基板旋转和升降，第一驱动件和第二驱动件的固定端均安装在基板上，第二驱动件被配置为驱动对应的装配件相对基板升降，以带动对应的抛光头升降；第一驱动件被配置为通过传动组件驱动n套抛光头组件的装配件同步旋转，以带动n套抛光头组件的抛光头同步旋转，上述抛光头机构通过一个旋转驱动装置驱动n套抛光头组件的抛光头同步旋转，简化了抛光头机构的整体结构，降低了成本，提高了抛光效率。
本实用新型一种抛光头机构及晶圆抛光机在权利要求书中公布了：1.一种抛光头机构，其特征在于，所述抛光头机构包括基板、第一驱动件和n套抛光头组件，n为不小于2的正整数，其中：每套所述抛光头组件包括装配件、抛光头和第二驱动件，所述抛光头安装在所述装配件的第一端，所述抛光头配合抛光盘对所述抛光盘上承载的待抛光的晶圆实施抛光，所述基板上开设有供所述装配件通过的通孔，所述装配件穿过所述通孔并可相对所述基板旋转和升降，所述第二驱动件的固定端通过安装架固定安装在所述基板的上方，所述第二驱动件的驱动端连接所述装配件的第二端，所述第二驱动件被配置为驱动对应的所述装配件相对所述基板升降，以带动对应的所述抛光头升降；所述第一驱动件的固定端安装在所述基板上，所述第一驱动件被配置为通过传动组件同时驱动n套所述抛光头组件的装配件同步旋转，以带动n套所述抛光头组件的抛光头同步旋转。
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