无锡奥特维捷芯科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥特维捷芯科技有限公司申请的专利一种旋转驱动机构及晶圆抛光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222945274U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421637407.0，技术领域涉及：B24B47/12；该实用新型一种旋转驱动机构及晶圆抛光机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转驱动机构及晶圆抛光机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种旋转驱动机构及晶圆抛光机，该旋转驱动机构包括基座、转盘、第一驱动件和定位组件，基座安装在抛光设备的机架上，转盘可转动地安装在基座上，转盘上安装有至少一个抛光头；第一驱动件被配置为驱动转盘相对基座转动预设角度，以带动至少一个抛光头转动至对应的抛光工位或上下料工位，每个抛光工位上设置有至少一个抛光盘，上下料工位上设置有至少一个晶圆承载机构；定位组件被配置为在第一驱动件驱动转盘相对基座转动预设角度后将转盘相对基座固定。上述旋转驱动机构通过设置定位组件，实现了在对晶圆实施抛光时将转盘相对固定在基座；使得抛光头在抛光过程中不会产生偏移，保证了晶圆抛光的一致性，提高了晶圆的抛光质量。
本实用新型一种旋转驱动机构及晶圆抛光机在权利要求书中公布了：1.一种旋转驱动机构，其特征在于，所述旋转驱动机构包括基座、转盘、第一驱动件和至少一套定位组件，其中：所述基座可拆装地安装在抛光设备的机架上，所述转盘可转动地安装在所述基座上，所述转盘上安装有至少一个抛光头；所述第一驱动件的固定端安装在所述基座上，所述第一驱动件的驱动端与所述转盘传动连接，所述第一驱动件被配置为驱动所述转盘相对所述基座转动预设角度，以带动所述至少一个抛光头转动至对应的抛光工位或上下料工位，每个所述抛光工位上设置有至少一个抛光盘，所述上下料工位上设置有至少一个晶圆承载机构；所述至少一套定位组件沿周向布置在所述基座上，并被配置为在所述第一驱动件驱动所述转盘相对所述基座转动预设角度后将所述转盘相对所述基座固定。
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