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龙图腾网获悉无锡奥特维捷芯科技有限公司申请的专利一种抛光盘清洁机构及晶圆抛光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222945276U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421633320.6，技术领域涉及：B24B53/007；该实用新型一种抛光盘清洁机构及晶圆抛光机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抛光盘清洁机构及晶圆抛光机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种抛光盘清洁机构及晶圆抛光机，该抛光盘清洁机构包括基座、第一驱动件、升降驱动件、第二驱动件、摆动轴、摆动臂和清洁部，升降驱动件集成在摆动轴上，升降驱动件被配置为驱动摆动轴升降；摆动臂的第一端安装在摆动轴的第一端上，清洁部可转动地安装在摆动臂的第二端，第一驱动件的驱动端连接摆动轴的第二端，第一驱动件被配置为驱动摆动轴转动，以带动清洁部在等待工位和清洁工位之间交替运动，第二驱动件的驱动端传动连接清洁部，第二驱动件被配置为驱动清洁部旋转，以对待清洁的抛光盘实施清洁；上述抛光盘清洁机构通过将升降驱动件集成在摆动轴上，减小了抛光盘清洁结构占用的空间，使清洁机构的整体结构更加紧凑。

本实用新型一种抛光盘清洁机构及晶圆抛光机在权利要求书中公布了：1.一种抛光盘清洁机构，其特征在于，所述抛光盘清洁机构包括基座、第一驱动件、升降驱动件、第二驱动件、摆动轴、摆动臂和清洁部，其中：所述升降驱动件包括固定部和活动部，所述固定部固定在所述基座上，所述活动部与所述固定部传动连接并被配置为可相对所述固定部升降，所述活动部套装在所述摆动轴的外围，所述摆动轴与所述活动部传动连接且可相对所述活动部转动，所述升降驱动件被配置为通过所述活动部驱动所述摆动轴升降；所述摆动臂的第一端安装在所述摆动轴的第一端上，所述清洁部可转动地安装在所述摆动臂的第二端，所述第一驱动件的驱动端连接所述摆动轴的第二端，所述第一驱动件被配置为驱动所述摆动轴转动，以带动所述摆动臂摆动预设角度，使得所述清洁部在等待工位和清洁工位之间交替运动，所述等待工位位于待清洁抛光盘的外侧，所述清洁工位位于所述待清洁抛光盘的正上方；所述第二驱动件的驱动端传动连接所述清洁部，所述第二驱动件被配置为驱动所述清洁部旋转，以对所述待清洁的抛光盘实施清洁。

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