海创智能装备(烟台)有限公司滕宗涛获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种用于晶圆涂胶设备的真空吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222950209U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421624082.2，技术领域涉及：F16B47/00；该实用新型一种用于晶圆涂胶设备的真空吸盘是由滕宗涛;曾龙;张逢山设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆涂胶设备的真空吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空吸盘技术领域，公开了一种用于晶圆涂胶设备的真空吸盘，包括吸盘本体及支撑套，吸盘本体安装在支撑套上，吸盘本体为圆形盘体，吸盘本体的中心处设有真空吸孔，吸盘本体的上表面由中心向外设有多圈同心的支撑组件，径向相邻的支撑组件之间形成有弧形吸附凹槽，每圈支撑组件包括多个沿周向间隔均匀设置的弧形支撑凸起，同一圆周上相邻的弧形支撑凸起之间形成有连通槽，径向相邻的弧形支撑凸起交错设置，真空吸孔、连通槽及弧形吸附凹槽相连通。多个弧形吸附凹槽及连通槽形成迷宫密封槽，可以平衡对晶圆的吸附压力，使吸附的晶圆受力更加均匀，降低晶圆因受力不均匀产生的形变，并避免发生飞片现象。
本实用新型一种用于晶圆涂胶设备的真空吸盘在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆涂胶设备的真空吸盘，其特征在于，包括吸盘本体1及支撑套7，所述吸盘本体1安装在所述支撑套7上，所述吸盘本体1为圆形盘体，所述吸盘本体1的中心处设有真空吸孔3，所述吸盘本体1的上表面由中心向外设有多圈同心的支撑组件，径向相邻的所述支撑组件之间形成有弧形吸附凹槽8，所述弧形吸附凹槽8的深度h为0.5mm-1mm，每圈所述支撑组件包括多个沿周向间隔均匀设置的弧形支撑凸起2，同一圆周上相邻的所述弧形支撑凸起2之间形成有连通槽6，径向相邻的所述弧形支撑凸起2交错设置，所述真空吸孔3、所述连通槽6以及所述弧形吸附凹槽8相连通，多个弧形吸附凹槽8及连通槽6形成迷宫密封槽。
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