昆山基侑电子科技有限公司王静强获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山基侑电子科技有限公司申请的专利一种湿法蚀刻晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222953035U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421608299.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种湿法蚀刻晶圆清洗装置是由王静强;胡兴华;徐福兴设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种湿法蚀刻晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉公开了一种湿法蚀刻晶圆清洗装置，包括清洗槽和晶圆，清洗槽内设置有腔室，腔室内转动安装有承载件，腔室的顶部设置有蓄水箱，蓄水箱的下表面固定安装有若干个喷淋头，清洗槽的底部中间固定安装有驱动电机，驱动电机的输出端向上并和承载件的底部通过转轴固定连接，承载件设置为弧形结构，承载件的内侧沿弧形方向等间距开设有若干个平行的弧形卡槽，承载件的内侧壁位于弧形卡槽的两侧开设有若干个通孔；通过安装喷淋头，对晶圆进行喷洒清洗，减少了去离子水的耗费量，通过设置承载件，在承载件下安装转轴和驱动电机，使承载件带动晶圆转动，增加晶圆表面去离子水的流动性，提高清洗效率，结构简单，实用性强。
本实用新型一种湿法蚀刻晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种湿法蚀刻晶圆清洗装置，包括清洗槽1和晶圆10，其特征在于：所述清洗槽1内设置有腔室2，所述腔室2内转动安装有承载件3，所述腔室2的顶部沿着清洗槽1的内侧壁设置有蓄水箱4，所述蓄水箱4的下表面固定安装有若干个喷淋头5，所述清洗槽1的底部中间固定安装有驱动电机6，所述驱动电机6的输出端向上并和承载件3的底部通过转轴7固定连接，所述清洗槽1的底部远离驱动电机6的位置固定安装有排液管8，所述清洗槽1的侧面对应蓄水箱4的位置固定安装有输液管9，所述清洗槽1的底部四周边缘固定安装有支脚14，所述承载件3设置为弧形结构，所述承载件3的内侧沿弧形方向等间距开设有若干个平行的弧形卡槽11，所述承载件3的内侧壁位于弧形卡槽11的两侧开设有若干个通孔12。
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