江苏奥首材料科技有限公司侯军获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏奥首材料科技有限公司申请的专利一种研磨液、其制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116694303B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310445096.1,技术领域涉及:C09K3/14;该发明授权一种研磨液、其制备方法及应用是由侯军;孙西;李传强设计研发完成,并于2023-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨液、其制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明提供一种研磨液、其制备方法及应用。本发明研磨液包括重量配比如下的各组分:溶剂60‑90份;分散剂1‑5份;润湿剂1‑5份;螯合剂1‑5份;磨料0.1‑1份;所述溶剂为矿物油类和或烷烃类溶剂的混合物。本发明还提供了所述研磨液的制备方法及其在氮化镓、碳化硅、砷化镓或磷化铟磨领域的用途。本发明研磨液安全、环保、高效,用其研磨氮化镓能有效提高氮化镓研磨后表面质量,具有粗糙度低、划痕数量少的高表面质量。
本发明授权一种研磨液、其制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种氮化镓研磨液,其特征在于,包括重量配比如下的各组分:溶剂60-90份;分散剂1-5份;润湿剂1-5份;螯合剂1-5份;磨料0.1-1份;所述溶剂为聚α烯烃合成油和C8-C14烷烃;所述聚α烯烃合成油和C8-C14烷烃的质量比为2-3:1;所述螯合剂为柠檬酸单甘油酯、1,4,7,10-四氮杂环十二烷-1,4,7,10-四羧酸、DOTA-三叔丁酯-马来酰亚胺和DOTA-三叔丁酯-叠氮中的一种或几种;所述分散剂为非离子型分散剂;所述润湿剂为非离子型表面活性剂;所述磨料为金刚石磨料。
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