长鑫存储技术有限公司陶少杰获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种晶圆测验批次的选取方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831813B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211414119.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆测验批次的选取方法、装置、设备及介质是由陶少杰;陈娟设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆测验批次的选取方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆测验批次的选取方法、装置、设备及介质，该方法通过在监测到任一晶圆批次到达目标工艺站台后，获取该目标工艺站台的测验信息。并根据该测验信息计算将新到站的晶圆批次作为测验晶圆批次的第一相对误差值，以及不作为测验晶圆批次的第二相对误差值。相对误差能够反映测量的可信程度，由此可根据第一相对误差值与第二相对误差值进行比对以确定是否将该晶圆批次用作测验批次。上述流程能够缓解相关技术中将不满足测验要求的晶圆批次用于测验的问题，且当工艺站台的需求比值更新时无需对测验批次的挑选逻辑重新设定。
本发明授权一种晶圆测验批次的选取方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测验批次的选取方法，其特征在于，所述方法包括：监测到任一晶圆批次到达目标工艺站台后，获取所述目标工艺站台的测验信息；其中，所述测验信息包括已到达所述目标工艺站台的晶圆批次总数、所述目标工艺站台已选定的测验晶圆批次数，以及所述目标工艺站台对测验晶圆批次的需求比值；根据所述晶圆批次总数、所述测验晶圆批次数和所述需求比值确定将所述晶圆批次用于测验的第一相对误差值，以及不将所述晶圆批次用于测验的第二相对误差值，具体包括：根据所述晶圆批次总数和所述测验晶圆批次数确定将所述晶圆批次用于测验时的测验晶圆批次数与晶圆批次总数的第一比值，以及不将所述晶圆批次用于测验时的测试晶圆批次与晶圆批次总数的第二比值；根据所述第一比值、所述第二比值和所述需求比值确定所述第一相对误差值和所述第二相对误差值；根据所述第一相对误差值和所述第二相对误差值确定是否将所述晶圆批次用于所述目标工艺站台的测验。
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