恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司J.普罗赫诺获国家专利权
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龙图腾网恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利投射光刻中用于成像光的光束引导的光学元件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110945429B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880048218.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权投射光刻中用于成像光的光束引导的光学元件是由J.普罗赫诺;D.沙弗;R.奥利克设计研发完成，并于2018-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本投射光刻中用于成像光的光束引导的光学元件在说明书摘要公布了：一种用于投射光刻中的成像光的光束引导的光学元件M。光学元件M包含一主体18和由主体18所承载的至少一个光学表面19。附接于主体18的至少一个补偿重量元件20、23用于由重力所引起的光学表面19的图形变形的重量补偿。这产生了在使用位置处具有小的图形变形的光学元件。
本发明授权投射光刻中用于成像光的光束引导的光学元件在权利要求书中公布了：1.一种用于投射光刻中的成像光3的光束引导的光学元件M；M1至M10，包括主体18和由该主体18承载的至少一个光学表面19，其特征在于至少一个补偿重量元件20；23；26；27；31；36；43，所述至少一个补偿重量元件附接于该主体18，用于由重力引起的光学表面19的图形变形的重量补偿；以及该补偿重量元件27；31的补偿重量28通过连接杆29；32连接至该主体18，使得该补偿重量28从其质量中心开始的重力G的方向在与连接区域30相距一距离处延伸，该连接杆29；32经由该连接区域连接至该主体18。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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