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龙图腾网恭喜上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利质量流量控制器的内漏检测方法及检测装置、控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119901430B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510389780.1，技术领域涉及：G01M3/26；该发明授权质量流量控制器的内漏检测方法及检测装置、控制装置是由沈康;王兆祥;涂乐义;梁洁;桂智谦;周正;彭国发设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本质量流量控制器的内漏检测方法及检测装置、控制装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种质量流量控制器的内漏检测方法及检测装置、控制装置，可用于对质量流量控制器进行内漏检测。所述内漏检测方法包括：先对包括待测的质量流量控制器在内的进气管路和工艺腔室实施排气，再对包括待测的质量流量控制器在内的进气管路和工艺腔室形成的密闭空间实施脱气，在脱气完成后，由进气装置对通过进气管路对工艺腔室输送气体以实施泄漏检测，从而判定出待测的质量流量控制器是否存在内漏，相比于相关技术，所述内漏检测方法具有流程简单、不会影响半导体工艺制程、检测精确、并可对检测出存在内漏的质量流量控制器进行及时的维修或更换，确保气体流量控制的精准性，更有利于后续半导体晶片的制程工艺，提升良率。

本发明授权质量流量控制器的内漏检测方法及检测装置、控制装置在权利要求书中公布了：1.一种质量流量控制器的内漏检测方法，其特征在于，所述质量流量控制器应用于半导体工艺设备中，所述半导体工艺设备包括工艺腔室、至少一路进气装置、以及排气装置，每一路进气装置包括进气管路和设于进气管路上的反应气体源、气源阀门、质量流量控制器、以及控制器阀门，多路进气装置与工艺腔室之间设有进气总阀门，所述排气装置包括排气管路和设于排气管路上的排气阀组件和排气泵；所述质量流量控制器的内漏检测方法包括如下步骤： 将排气装置中的排气阀组件打开，将待测的质量流量控制器所属的一路进气装置中的气源阀门关闭并将控制器阀门打开，将进气总阀门打开，启动排气泵，使得工艺腔室进入排气模式以实施排气； 将排气装置中的排气阀组件关闭，将待测的质量流量控制器所属的一路进气装置中的气源阀门关闭并将控制器阀门打开，将进气总阀门打开，使得工艺腔室进入脱气模式以实施脱气；在完成脱气后，检测工艺腔室的第一压力P1； 将排气装置中的排气阀组件关闭，将待测的质量流量控制器所属的一路进气装置中的气源阀门打开并将控制器阀门打开，将进气总阀门打开，使得工艺腔室进入泄漏检测模式，由这一路进气装置向工艺腔室输送反应气体以实施泄漏检测，并在一送气时间后，检测工艺腔室的第二压力P2；以及 根据检测的工艺腔室的第一压力P1和第二压力P2，判定待测的质量流量控制器是否存在内漏：根据检测的工艺腔室的第一压力P1和第二压力P2，计算泄漏率，其中，所述泄漏率为第二压力P2与第一压力P1的差值与送气时间的比值；将计算得到的泄漏率与设定的泄漏阈值作比较，且当所述泄漏率大于等于所述泄漏阈值时，判定待测的质量流量控制器存在内漏。

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