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龙图腾网恭喜中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119643586B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510185471.2，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法是由陈晓义;王璞;眭越;李成尧;达争尚设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学元件表面缺陷检测装置及方法，具体涉及一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法，用于解决现有的检测方法在面对大口径光学元件的损伤检测时，存在或是无法提供量化的评估标准，或是效率较低难以有效应对大范围的检测需求，或是无法获取缺陷的三维形貌信息的不足之处。该大口径光学元件表面缺陷检测装置利用二元变形衍射光栅的衍射特性，由相机单次采集多个不同衍射级次的衍射光斑，通过相位恢复算法计算大口径光学元件的表面相位，并结合二维平移台使激光光束对大口径光学元件的整个表面进行扫描，从而实现大口径光学元件表面缺陷的检测。

本发明授权一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种大口径光学元件表面缺陷检测方法，其特征在于：采用大口径光学元件表面缺陷检测装置，该装置包括激光器10、二维平移台70，以及沿光路依次设置的准直镜20、可变倍率扩束镜30、二元变形衍射光栅40、聚焦镜50和相机60； 所述激光器10用于发出激光光束至准直镜20，准直镜20用于准直激光光束； 所述二元变形衍射光栅40包括两个在X轴方向和Y轴方向上正交的一维变形衍射光栅；所述Z轴的正向为激光器10发出的激光光束方向，X轴正向符合Y轴正向竖直向上的左手直角坐标系； 所述二维平移台70用于放置大口径光学元件01，以及改变激光光束照射在大口径光学元件01上的位置； 所述可变倍率扩束镜30用于对穿过大口径光学元件01的激光光束或由准直镜20直接输入可变倍率扩束镜30的激光光束进行扩束，并输出至二元变形衍射光栅40；二元变形衍射光栅40用于将激光光束分成多个不同衍射级次的衍射光斑，并通过所述聚焦镜50聚焦至相机60的探测面，相机60的探测面位于聚焦镜50的后焦面上，每个衍射级次对应特定的相移量，用于重建大口径光学元件01的表面相位，从而获得表面缺陷分布； 包括如下步骤： 步骤1、调整可变倍率扩束镜30的倍率为1，控制二维平移台70将大口径光学元件01移出光路，相机60接收的探测光强为m、n代表衍射级次，m∈[-1,+1]，n∈[-1,+1]，m、n均为整数，Im,nxf,yf表示对应于衍射级次m,n的衍射光斑强度分布，xf,yf表示在相机60的探测面上的坐标；然后通过相位恢复算法标定光路中的本底相位Φ0x0,y0，x0,y0为二元变形衍射光栅40前的坐标； 步骤2、通过控制二维平移台70，使激光光束在大口径光学元件01的表面进行扫描；在每个扫描位置，相机60接收的探测光强为s、t为当前扫描位置的行和列，s∈[1,u]，t∈[1,v]，s、t均为正整数，u、v分别为扫描位置的总行数、总列数，表示当前扫描位置对应于衍射级次m,n的衍射光斑强度分布；通过相位恢复算法计算该扫描位置的相位分布Ψs,tx0,y0，再去除本底相位Φ0x0,y0，大口径光学元件01表面缺陷分布为Φ′s,tx0,y0＝Φs,tx0,y0-Φ0x0,y0，s、t为当前扫描位置的行和列； 直至完成大口径光学元件01表面缺陷的全部扫描过程，获得拼接的表面缺陷分布 步骤3、通过二维平移台70移动大口径光学元件01，定位至目标缺陷处，调整可变倍率扩束镜30的倍率，放大目标缺陷处，观察目标缺陷细节，利用相位恢复算法求得放大后的目标缺陷分布，完成大口径光学元件01表面缺陷检测。

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