苏州耀德半导体有限公司赖学明获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州耀德半导体有限公司申请的专利一种高精度硅片瑕疵智能检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222979581U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421901064.4,技术领域涉及:G01N33/00;该实用新型一种高精度硅片瑕疵智能检测设备是由赖学明设计研发完成,并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度硅片瑕疵智能检测设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种高精度硅片瑕疵智能检测设备,属于硅片检测设备技术领域,包括底座,所述底座的顶部固定安装有放置盘,所述底座的顶部滑动连接有移动架,所述移动架的顶部内侧固定安装有瑕疵检测仪,所述瑕疵检测仪与放置盘相互配合,所述底座上设有换料机构,所述换料机构与移动架传动连接,所述底座上设有移动机构,所述底座的一侧固定安装有电机,所述电机的输出轴与移动机构传动连接。通过推杆与摆杆和移动架的转动连接,使得移动的移动架能够带动摆杆进行角度变动,进而能够对硅片进行搬运,同时齿条与定位齿轮的相互啮合,从而能够通过驱动气缸带动两个吸盘进行转换,进而能够对两个硅片进行物料更换。
本实用新型一种高精度硅片瑕疵智能检测设备在权利要求书中公布了:1.一种高精度硅片瑕疵智能检测设备,包括底座1,其特征在于,所述底座1的顶部固定安装有放置盘4,所述底座1的顶部滑动连接有移动架2,所述移动架2的顶部内侧固定安装有瑕疵检测仪3,所述瑕疵检测仪3与放置盘4相互配合,所述底座1上设有换料机构,所述换料机构与移动架2传动连接,所述底座1上设有移动机构,所述底座1的一侧固定安装有电机19,所述电机19的输出轴与移动机构传动连接,所述底座1的一侧固定安装有放置台15,所述放置台15与换料机构相互配合,所述底座1的顶部安装有显示屏22,所述显示屏22与瑕疵检测仪3连接。
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