博纳半导体设备(浙江)有限公司刘亮获国家专利权
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龙图腾网获悉博纳半导体设备(浙江)有限公司申请的专利键合胶去除机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980465U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421882067.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型键合胶去除机是由刘亮设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本键合胶去除机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆去胶技术领域，具体的是键合胶去除机，本实用新型包括外壳，所述外壳的内部设置有相互垂直的第一分隔架和第二分隔架，第一分隔架和第二分隔架用于对外壳内部空间进行分隔，形成移送空腔、第一清洗仓、第二清洗仓和配给仓；所述第一清洗仓、第二清洗仓的内部均设置有清洁机构，本实用新型通过在喷出药液对晶圆表面键合金进行冲洗去胶时，利用承载部件的旋转，带动晶圆和载片台一共转动，同时通过真空吸附的方式，对晶圆进行吸附，使得晶圆在旋转过程中保持稳定，利用晶圆的旋转，使得冲洗去胶时更加充分，减少胶体残留，通时压合罩位于载片台上方，在不影响载片台和晶圆转动的同时，避免载片台向上活动。
本实用新型键合胶去除机在权利要求书中公布了：1.键合胶去除机，包括外壳（1），其特征在于，所述外壳（1）的内部设置有相互垂直的第一分隔架（2）和第二分隔架（3），第一分隔架（2）和第二分隔架（3）用于对外壳（1）内部空间进行分隔，形成移送空腔（101）、第一清洗仓（102）、第二清洗仓（103）和配给仓（104）； 所述第一清洗仓（102）、第二清洗仓（103）的内部均设置有清洁机构，清洁机构包括清洁仓（5），清洁仓（5）靠近移送空腔（101）的一侧设置有可上下活动进行开合的电动仓门（6），清洁仓（5）内固定连接有封闭罩（4），清洁仓（5）的底部设置有可旋转的承载部件（7），承载部件（7）用于为载片台提供承载，电动仓门（6）的一侧且位于封闭罩（4）的上方固定连接有压合罩（8），压合罩（8）用于限制载片台向上的活动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人博纳半导体设备(浙江)有限公司，其通讯地址为：314100 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路8号B4栋2楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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