四川旭虹光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司李青获国家专利权
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龙图腾网获悉四川旭虹光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司申请的专利磁控溅射镀膜机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222975274U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421846504.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射镀膜机是由李青;李赫然;潘宁;王升;杨涛;刘敏;罗靖;陈金龙;刘春元设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了：本申请提供一种磁控溅射镀膜机，包括壳体组件，壳体组件包括壳体结构和靶材安装座结构，靶材安装座结构与壳体结构相连接，靶材与靶材安装座结构相连接；供气组件，供气组件包括至少三个供气管路结构，供气管路结构与壳体组件相连接，各供气管路结构的轴线位于同一直线上，各供气管路结构平行于靶材设置，设置在两端部的供气管路结构与靶材的两端分别一一对应地设置。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中的在磁控溅射镀膜过程中，存在着靶材两端对应位置的产品镀膜厚度不均匀的问题。
本实用新型磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括： 壳体组件10，所述壳体组件10包括壳体结构11和靶材安装座结构12，所述靶材安装座结构12与所述壳体结构11相连接，靶材与所述靶材安装座结构12相连接； 供气组件20，所述供气组件20包括至少三个供气管路结构21，所述供气管路结构21与所述壳体组件10相连接，各所述供气管路结构21的轴线位于同一直线上，各所述供气管路结构21平行于所述靶材设置，设置在两端部的所述供气管路结构21与所述靶材的两端分别一一对应地设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人四川旭虹光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司，其通讯地址为：621000 四川省绵阳市经开区涪滨路北段177号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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