矽电半导体设备(深圳)股份有限公司郑吉龙获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利一种半导体预对准装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222980482U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421823328.9,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种半导体预对准装置是由郑吉龙;林生财设计研发完成,并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体预对准装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体预对准装置。本实用新型的半导体预对准装置包括:承片台、限位模块以及机械手。承片台包括承载面,承载面为水平面,承载面用于放置半导体。限位模块固定在承片台的外围,限位模块包括抵接面,抵接面与水平面的交线位于一个基准圆的外轮廓线上,基准圆的圆心与承载面的中心位于承载面的同一条竖直的直线上。机械手用于相对于承片台运动,从而带动半导体运动并使半导体的外周边缘与抵接面接触。通过预设好限位模块与承片台中心的距离,使机械手运输半导体向承片台运动,当半导体的外周边缘与限位模块的抵接面抵接时即完成了定位,如此设计无需限位模块进行往复的收拢和展开,工序更简单高效。
本实用新型一种半导体预对准装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体预对准装置,其特征在于,包括: 承片台,所述承片台包括承载面,所述承载面为水平面,所述承载面用于放置半导体; 限位模块,所述限位模块固定在所述承片台的外围,所述限位模块包括抵接面,所述抵接面与水平面的交线位于一个基准圆的外轮廓线上,所述基准圆的圆心与所述承载面的中心位于所述承载面的同一条竖直的直线上; 机械手,所述机械手用于相对于所述承片台运动,从而带动所述半导体运动并使所述半导体的外周边缘与所述抵接面接触。
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