恭喜天工方案公司高野敦获国家专利权
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龙图腾网恭喜天工方案公司申请的专利体声波部件及等离子体切割该体声波部件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111082769B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910988382.6，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权体声波部件及等离子体切割该体声波部件的方法是由高野敦;古泽健;古泽光弘设计研发完成，并于2019-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本体声波部件及等离子体切割该体声波部件的方法在说明书摘要公布了：本公开的多个方面涉及制造体声波部件的方法。这样的方法包括等离子体切割以将单个体声波部件单片化。可在体声波部件的基板上方形成缓冲层，使得街区被外露。可沿着外露街区对体声波部件进行等离子体切割，从而将体声波部件单片化。公开了相关的体声波部件。
本发明授权体声波部件及等离子体切割该体声波部件的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造单片化体声波部件的方法，所述方法包括： 在体声波部件的阵列的基板上方形成缓冲层，以便在各个体声波部件之间形成外露街区，所述基板是硅基板；以及 沿着所述外露街区等离子体切割所述体声波部件，以从而将所述体声波部件单片化，所述缓冲层具有在所述等离子体切割期间比硅蚀刻速率至少慢30倍的蚀刻速率。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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