浙江芯晖装备技术有限公司张飘获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯晖装备技术有限公司申请的专利一种晶圆背面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222999217U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422075444.3，技术领域涉及：B08B1/12；该实用新型一种晶圆背面清洗装置是由张飘;范小军;张峰;盛湘远设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆背面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆背面清洗装置，包括架体、第一清洗组件和第二清洗组件，架体包括支撑盘、用于出水的喷水组件以及用于经清洗后干燥的干燥组件；第一清洗组件包括可转动地贯穿于支撑盘的第一轴体、以及连接于第一轴体顶部以对晶圆清洗的第一清洗件，第一轴体上可转动地套设有第一传动件；第二清洗组件包括可转动地连接于第一传动件的第二轴体、以及设置于第二轴体顶部以对转移晶圆的机械手进行清洗的第二清洗件，第二轴体可移动地穿设于支撑盘，第二清洗件启动、喷水组件同步运行，以对机械手进行清洗，第一清洗件启动、喷水组件同步运行，以对晶圆的底部进行清洗，既能清洗晶圆背面也能清洗机械手，以提高晶圆的质量。
本实用新型一种晶圆背面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背面清洗装置，其特征在于，包括：架体，包括支撑盘（110）、用于出水的喷水组件以及用于经清洗后干燥的干燥组件；第一清洗组件，包括可转动地贯穿于所述支撑盘（110）的第一轴体（210）、以及连接于所述第一轴体（210）顶部以对晶圆清洗的第一清洗件，所述第一轴体（210）上可转动地套设有第一传动件；第二清洗组件，包括可转动地连接于所述第一传动件的第二轴体（310）、以及设置于所述第二轴体（310）顶部以对转移所述晶圆的机械手进行清洗的第二清洗件，所述第二轴体（310）可移动地穿设于所述支撑盘（110）。
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