深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司王晨光获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利进气结构及太阳能电池镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223003023U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422082018.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型进气结构及太阳能电池镀膜设备是由王晨光;向阳;利善煜设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气结构及太阳能电池镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及太阳能电池技术领域，特别涉及一种进气结构及太阳能电池镀膜设备。进气结构用于连接反应室的进气口，包括第一进气管道和第二进气管道，第一进气管道由进气口延伸至反应室内部，第一进气管道设置有第一喷淋口，第一进气管道用于输送含铝前驱体分子，第二进气管道由进气口延伸至反应室内部，第二进气管道间隔设置有第二喷淋口和第三喷淋口，第二喷淋口设置于第二进气管道靠近进气口的一侧，第三喷淋口设置于第二进气管道背离进气口的一侧，第二进气管道用于输送含氧前驱体分子，第一进气管道在反应室内的延伸长度短于第二进气管道在反应室内的延伸长度。该太阳能电池镀膜设备包括上述进气结构。本实用新型能够提高硅片镀膜均匀性。
本实用新型进气结构及太阳能电池镀膜设备在权利要求书中公布了：1.进气结构，其特征在于，用于连接反应室的进气口，以在所述反应室内的硅片的表面形成氧化铝薄膜，所述进气结构包括：第一进气管道，所述第一进气管道由所述进气口延伸至所述反应室的内部，所述第一进气管道设置有第一喷淋口，所述第一进气管道用于输送含铝前驱体分子；第二进气管道，所述第二进气管道由所述进气口延伸至所述反应室的内部，所述第二进气管道间隔设置有第二喷淋口和第三喷淋口，所述第二喷淋口设置于所述第二进气管道靠近所述进气口的一侧，所述第三喷淋口设置于所述第二进气管道背离所述进气口的一侧，所述第二进气管道用于输送含氧前驱体分子；其中，所述第一进气管道在所述反应室内的延伸长度短于所述第二进气管道在所述反应室内的延伸长度。
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