安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司杨雪亮获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司申请的专利一种组合式气体喷淋设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223003022U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422018671.2,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种组合式气体喷淋设备是由杨雪亮;孙晓东;顾勇;屈长明;徐会杰;王家奇;蔡爱玲;陈占开;郭铁设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种组合式气体喷淋设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及气体喷淋设备技术领域,具体涉及一种组合式气体喷淋设备,为解决定期进行维护和更换气体喷淋头增加了企业的运营成本的问题。该组合式气体喷淋设备包括连接环,上下两个都设有外螺纹,上端与气体传输模块连通,下端与真空反应腔室连通;分散网,设置在所述连接环下端,表面均匀设有若干出气孔。
本实用新型一种组合式气体喷淋设备在权利要求书中公布了:1.一种组合式气体喷淋设备,其特征在于,包括连接环1,上下两个都设有外螺纹,上端与气体传输模块3连通,下端与真空反应腔室4连通;分散网2,设置在所述连接环1下端,表面均匀设有若干出气孔5。
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