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厦门市俊亦精密机械有限公司陈学亮获国家专利权

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龙图腾网获悉厦门市俊亦精密机械有限公司申请的专利一种硅片载板校准平台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223006759U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421983245.6,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种硅片载板校准平台是由陈学亮设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种硅片载板校准平台在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种硅片载板校准平台,包括两间隔布置的支撑杆,两所述支撑杆之间设置有剪叉式折叠架,所述剪叉式折叠架固设有若干等距布置的平移板,由所述剪叉式折叠架的伸缩运动带动若干所述平移板以平移的方式相互张开或者相互靠拢;所述平移板的底部沿其长度方向可调节的固设有若干校准定位块,所述校准定位块的尺寸等同于载板的镀膜窗口尺寸。通过剪叉式折叠架可以调节校准定位块的间距,最终调节制成后两镀膜窗口的间距,使得镀膜窗口的间距可调节至合适距离,可防止硅片在镀膜窗口的间距过近或过远影响镀膜效果,保证镀膜窗口的尺寸精准。

本实用新型一种硅片载板校准平台在权利要求书中公布了:1.一种硅片载板校准平台,其特征在于:包括两间隔布置的支撑杆(1),两所述支撑杆(1)之间设置有剪叉式折叠架(2),所述剪叉式折叠架(2)固设有若干等距布置的平移板(3),由所述剪叉式折叠架(2)的伸缩运动带动若干所述平移板(3)以平移的方式相互张开或者相互靠拢;所述平移板(3)的底部沿其长度方向可调节的固设有若干校准定位块(4),所述校准定位块(4)的尺寸等同于载板的镀膜窗口(a3)尺寸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人厦门市俊亦精密机械有限公司,其通讯地址为:361000 福建省厦门市集美区董任路8-8号101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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