苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司施企帆获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司申请的专利一种用于晶圆量测的平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223005522U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421959454.7，技术领域涉及：G01B21/08；该实用新型一种用于晶圆量测的平台是由施企帆设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆量测的平台在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于晶圆量测的平台，属于晶圆量测技术领域。该用于晶圆量测的平台包括平台机构和量测机构，所述平台机构包括平台块、螺纹杆、移动块和滚珠，所述平台块开设有凹槽和连通槽，所述量测机构包括固定杆、调节滑杆和测厚仪，通过设置平台块、螺纹杆、移动块和滚珠，并开设凹槽和连通槽，通过可调节位置的移动块和滚珠，能够进行支撑移动整体，移动后可以收回移动块和滚珠进行稳定支撑，从而大大提高了便利性方便转移调整位置，通过设置凹槽可以之间夹取晶圆抬起进行调整位置或取走，从而减少对晶圆背面的磨损，保证良品率，通过设置固定杆、调节滑杆和测厚仪，能够对晶圆厚度进行测量。
本实用新型一种用于晶圆量测的平台在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆量测的平台，其特征在于，包括平台机构100，所述平台机构100包括平台块110、螺纹杆120、移动块140和滚珠160，所述平台块110开设有凹槽111和连通槽112，所述螺纹杆120转动设置于所述连通槽112内，所述移动块140滑动设置于所述连通槽112内，所述移动块140开设有螺纹槽142，所述螺纹杆120和所述螺纹槽142螺纹连接，所述滚珠160活动设置于所述移动块140底部；量测机构200，所述量测机构200包括固定杆210、调节滑杆220和测厚仪230，所述固定杆210设置于所述平台块110顶部，所述调节滑杆220一端套设于所述固定杆210表面，所述测厚仪230设置于所述调节滑杆220端部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区19幢1楼2楼3楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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