上汽英飞凌汽车功率半导体(上海)有限公司杨晓钧获国家专利权
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龙图腾网获悉上汽英飞凌汽车功率半导体(上海)有限公司申请的专利直列湿式清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006741U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421963399.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型直列湿式清洗机是由杨晓钧设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本直列湿式清洗机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种直列湿式清洗机，包括：顺序布置的第一清洗腔、第二清洗腔、第一漂洗腔、第二漂洗腔和干燥腔，清洗时产品顺序经过各腔体；计数传感器，布置在直列湿式清洗机第一清洗腔入口，其用于计算进入第一清洗腔产品数量发送给逻辑单元；第一阀门，其连接在第一漂洗腔的外接管路上；第一漂洗腔的外接管路连接高浓度废液收集装置；第二阀门，其连接在第一漂洗腔外接管路和第二漂洗腔外接管路之间；第二漂洗腔的外接管路连接低浓度废液收集装置；逻辑单元，其将产品数量与预存阈值比较，根据比较结果发送电信号至第一阀门和第二阀门，使第一阀门和第二阀门执行电信号对应的开关动作；第一阀门和第二阀门在清洗过程中始终保持互斥状态。
本实用新型直列湿式清洗机在权利要求书中公布了：1.一种直列湿式清洗机，其特征在于，包括：顺序布置的第一清洗腔、第二清洗腔、第一漂洗腔、第二漂洗腔和干燥腔，清洗时产品顺序经过各腔体，还包括：计数传感器，布置在直列湿式清洗机第一清洗腔入口，其用于计算进入第一清洗腔产品数量发送给逻辑单元；第一阀门，其连接在第一漂洗腔的外接管路上；第一漂洗腔的外接管路连接高浓度废液收集装置；第二阀门，其连接在第一漂洗腔外接管路和第二漂洗腔外接管路之间；第二漂洗腔的外接管路连接低浓度废液收集装置；逻辑单元，其将产品数量与预存阈值比较，根据比较结果发送电信号至第一阀门和第二阀门，使第一阀门和第二阀门执行电信号对应的开关动作；其中，第一阀门和第二阀门在清洗过程中始终保持互斥状态。
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