安徽华远装备科技有限公司刘达获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华远装备科技有限公司申请的专利一种溅射靶材靶芯建立O型圈安装保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223003012U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421924901.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种溅射靶材靶芯建立O型圈安装保护装置是由刘达;曾德春;高上游;柯君设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射靶材靶芯建立O型圈安装保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及靶芯建立设备技术领域，具体涉及一种溅射靶材靶芯建立O型圈安装保护装置，为解决现有的O型圈安装容易损伤O型圈以及安装费时的问题。该安装保护装置包括圆环，内直径大于所述靶芯的外直径，外部为阶梯轴结构，分为第一节和第二节，所述第一节的外径小，所述第二节的外径大；所述第一节的外直径比所述靶芯的外直径大2.5‑3毫米；所述第二节的外直径比外径小的部分的外直径大毫米；需要安装的O型圈安装到所述第一节外部，通过所述圆环套在所述靶芯外部，快速移动所述圆环到所述靶芯需要安装O型圈的位置，放下O型圈，最后卸下所述圆环。
本实用新型一种溅射靶材靶芯建立O型圈安装保护装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射靶材靶芯建立O型圈安装保护装置，其特征在于，包括圆环1，内直径大于所述靶芯的外直径，外部为阶梯轴结构，分为第一节11和第二节12，所述第一节11的外径小，所述第二节12的外径大；所述第一节11的外直径比所述靶芯的外直径大2.5-3毫米；所述第二节12的外直径比外径小的部分的外直径大3毫米；需要安装的O型圈3安装到所述第一节11外部，通过所述圆环1套在所述靶芯外部，快速移动所述圆环1到所述靶芯需要安装O型圈3的位置，放下O型圈3，最后卸下所述圆环1。
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