中环领先半导体科技股份有限公司罗永恒获国家专利权
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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种外延片生长用载盘、外延设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223003067U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421931579.9,技术领域涉及:C30B25/12;该实用新型一种外延片生长用载盘、外延设备是由罗永恒;陈海波;徐强;王洪朝;元佳丽;孙涛设计研发完成,并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延片生长用载盘、外延设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种外延片生长用载盘、外延设备,包括环架和底盘,所述环架内侧构造有朝其中心侧延伸设置的环台,外延片被架设于所述环台上端面,所述底盘被置放于所述环台下方;所述环台可在外延片生长时支撑向下翘曲的外延片且使其最大变形位不与所述底盘接触。本申请一种外延片生长用载盘,结构简单,在保证承载外延片平稳置放的基础上,可防止外延片朝下翘曲时起与托盘接触,避免因与托盘接触而出现白色斑点、划痕、或多余的多晶涂层等质量缺陷,保证背面质量,提高产品合格率。
本实用新型一种外延片生长用载盘、外延设备在权利要求书中公布了:1.一种外延片生长用载盘,其特征在于,包括环架和底盘,所述环架内侧构造有朝其中心侧延伸设置的环台,外延片被架设于所述环台上端面,所述底盘被置放于所述环台下方;所述环台可在外延片生长时支撑向下翘曲的外延片且使其最大变形位不与所述底盘接触。
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