广立微(上海)技术有限公司牛艳宁获国家专利权
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龙图腾网获悉广立微(上海)技术有限公司申请的专利一种用于检测切断层刻蚀性能的测试结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006775U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421927116.5，技术领域涉及：H01L23/544；该实用新型一种用于检测切断层刻蚀性能的测试结构是由牛艳宁设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于检测切断层刻蚀性能的测试结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于检测切断层刻蚀性能的测试结构，包括至少一个测试单元：所述测试单元包括第一金属线、第二金属线和切断结构；所述第一金属线和所述第二金属线属于同一个金属层，所述切断结构用于对所述金属层的金属线进行切断；所述第一金属线上设置有至少一个所述切断结构，用于切断所述第一金属线；所述第二金属线环绕设置在所述第一金属线周围，所述第二金属线的两端作为引脚接出。本实用新型提供的测试结构设计复杂度低，且不需要引入其他工艺过程，具有极高的工艺兼容性；提供了多种测试单元，通过不同测试单元的组合，能够有效得到工艺的安全窗口。
本实用新型一种用于检测切断层刻蚀性能的测试结构在权利要求书中公布了：1.一种用于检测切断层刻蚀性能的测试结构，其特征在于，包括至少一个测试单元；所述测试单元包括第一金属线、第二金属线和切断结构；所述第一金属线和所述第二金属线属于同一个金属层，所述切断结构用于对所述金属层的金属线进行切断；所述第一金属线上设置有至少一个所述切断结构，用于切断所述第一金属线；所述第二金属线环绕设置在所述第一金属线周围，所述第二金属线的两端作为引脚接出。
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