三星显示有限公司徐东均获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223003007U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421800904.8,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型沉积设备是由徐东均;徐敏逵;程相慜;朴简永;安喆焕;郑和平设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积设备在说明书摘要公布了:一种沉积设备包括:掩模框架;掩模,设置在所述掩模框架上;坩埚,设置在所述掩模框架下方;以及喷嘴,联接到所述坩埚并且设置在所述坩埚和所述掩模框架之间。所述喷嘴包括:主体部,包括联接开口;和喷射部,设置在所述联接开口中并且包括与所述联接开口重叠的孔。所述喷射部的热膨胀系数大于所述主体部的热膨胀系数。
本实用新型沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种沉积设备,其特征在于,所述沉积设备包括: 掩模框架; 掩模,设置所述掩模框架上; 坩埚,设置在所述掩模框架下方;以及 喷嘴,设置在所述坩埚和所述掩模框架之间并且联接到所述坩埚,其中 所述喷嘴包括: 主体部,包括联接开口;和 喷射部,设置在所述联接开口中并且包括与所述联接开口重叠的孔,并且 所述喷射部的热膨胀系数大于所述主体部的热膨胀系数。
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