拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司潘丽君获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种顶针升降机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223003025U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421748339.5,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种顶针升降机构是由潘丽君;王宏耀;闻皓岩;张恩慈设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种顶针升降机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造技术领域,更具体地说,涉及一种顶针升降机构。本实用新型提供的顶针升降机构,包括若干顶针机构以及支板,所述顶针机构包括顶针、重锤以及调平机构:所述顶针,用于插入重锤内部;所述重锤,为夹紧结构,用于夹紧固定顶针;所述调平机构与重锤底部相连接,用于调节顶针的位置;所述调平机构底部与支板相连接;所述若干顶针机构随着支板的上下移动而升降。本实用新型将重锤设计为夹紧结构,消除了顶针本身的薄弱应力集中点,使得顶针在升降过程中更加稳定,不易脱离,通过调平机构使得顶针高度可以进行独立调节,确保晶圆在顶针上的水平度,保证了晶圆在处理过程中不受损坏,提高了整个生产线的可靠性和稳定性。
本实用新型一种顶针升降机构在权利要求书中公布了:1.一种顶针升降机构,其特征在于,包括若干顶针机构以及支板,所述顶针机构包括顶针、重锤以及调平机构: 所述顶针,用于插入重锤内部; 所述重锤,为夹紧结构,用于夹紧固定顶针; 所述调平机构与重锤底部相连接,用于调节顶针的位置; 所述调平机构底部与支板相连接; 所述若干顶针机构随着支板的上下移动而升降。
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