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龙图腾网获悉深圳市诺仕机器人有限公司申请的专利一种高精度光刻机光学面高度微调装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006379U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421737594.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种高精度光刻机光学面高度微调装置是由王晓斌;徐杨;李真太;邓翔设计研发完成，并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精度光刻机光学面高度微调装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高精度光刻机光学面高度微调装置，包括上平台和下平台，上平台上安装有光刻机光学面，上平台下表面与下平台上表面贴合放置，上平台的下表面设置有上安装槽，下平台安装有下安装槽，上安装槽和下安装槽对齐组合形成微调装置安装槽，一行星调整装置安装在微调装置安装槽中，行星调整装置包括输入丝杆、定位座、行星轴承滚柱、调整座和滚柱座，定位座固定安装在上安装槽中，调整座固定安装在下安装槽中，行星调整装置相对于上平台和下平台的接触面倾斜设置。本实用新型具有能精确调整上平台高度的优点，同时，行星调整装置具有高承载力，小外形尺寸的优点，能承受径向力也可承受轴向力，相比于传统的力传动结构，极大的减小了外形尺寸以及极大的提高了承载能力。

本实用新型一种高精度光刻机光学面高度微调装置在权利要求书中公布了：1.一种高精度光刻机光学面高度微调装置，包括上平台1和下平台2，所述的上平台1上安装有光刻机光学面，所述的上平台1下表面与下平台2上表面贴合放置，其特征是：所述的上平台1的下表面设置有上安装槽3，所述的下平台安装有下安装槽4，所述的上安装槽3和下安装槽4对齐组合形成微调装置安装槽，一行星调整装置5安装在微调装置安装槽中，所述的行星调整装置5包括输入丝杆51、定位座52、行星轴承滚柱53、调整座54和滚柱座55，所述的定位座52固定安装在上安装槽3中，所述的调整座54固定安装在下安装槽4中，所述的输入丝杆51一端限位在定位座52上，同时输入丝杆51另一端从下安装槽4穿过，输入丝杆51能相对于定位座52转动，所述的输入丝杆51中段设置有第一螺纹体，所述的行星轴承滚柱53的数量为若干个，行星轴承滚柱53呈环状围绕输入丝杆51中段设置，行星轴承滚柱53组成的环状结构与输入丝杆51同轴，每个行星轴承滚柱53表面均设置有螺纹，每个行星轴承滚柱53的螺纹均与输入丝杆51的第一螺纹体咬合配合，行星轴承滚柱53的两端定位在滚柱座55上，所述的滚柱座55与定位座52固定连接，所述的行星轴承滚柱53能相对滚柱座55旋转，所述的调整座54为环状结构，调整座54内环面设置有第二螺纹体，各行星轴承滚柱53同时与调整座54的第二螺纹体螺纹配合，所述的行星调整装置5相对于上平台1和下平台2的接触面倾斜设置。

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