深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司刘兵吉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利净化台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223006739U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421739954.X,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型净化台是由刘兵吉;肖岳南;肖训;彭彬鑫设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本净化台在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种净化台,净化台包括用于承载工艺舟的承载模组,承载模组包括底座、第一风机和第二风机,底座的外表面包括沿水平方向分布的主体支撑面和舟脚支撑面,舟脚支撑面设置于主体支撑面的端部,主体支撑面用于承载舟主体,舟脚支撑面用于承载舟脚;第一风机用于驱动空气流经主体支撑面的正上方,从而对舟主体进行冷却;第二风机于驱动空气流经舟脚支撑面的正上方,从而对舟脚进行冷却。本实用新型的净化台既对舟主体进行冷却又能够对舟脚进行冷却,该净化台对工艺舟的整体冷却效率较高。
本实用新型净化台在权利要求书中公布了:1.净化台,其特征在于,包括用于承载工艺舟的承载模组,所述工艺舟包括舟主体和舟脚,所述舟脚连接在所述舟主体的端部,所述舟主体用于容纳硅片,所述承载模组包括: 底座,所述底座的外表面包括沿水平方向分布的主体支撑面和舟脚支撑面,所述主体支撑面和所述舟脚支撑面均朝上设置,所述舟脚支撑面设置于所述主体支撑面的端部,所述主体支撑面用于承载所述舟主体,所述舟脚支撑面用于承载所述舟脚; 第一风机,所述第一风机用于驱动空气流经所述主体支撑面的正上方,从而对所述舟主体进行冷却; 第二风机,所述第二风机于驱动空气流经所述舟脚支撑面的正上方,从而对所述舟脚进行冷却。
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