北京天科合达半导体股份有限公司张翔宇获国家专利权
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龙图腾网获悉北京天科合达半导体股份有限公司申请的专利一种晶圆的工作台装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223000358U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421704385.5，技术领域涉及：B24B41/00；该实用新型一种晶圆的工作台装置是由张翔宇;宋林娜;张贺;王芃;王波;彭同华;杨建设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的工作台装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆的工作台装置，包括：上底托组件和下底托组件；上底托组件包括：放置圆台和第一支撑柱，放置圆台的上端面用于放置晶圆盘，放置圆台的下端面与第一支撑柱的第一端连接；下底托组件包括：底座、第二支撑柱和旋转件；第二支撑柱的第一端固定有旋转件，第一支撑柱通过旋转件可旋转的连接于第二支撑柱；第二支撑柱的第二端固定于底座；旋转件为轴承；第二支撑柱的内周壁套设固定于轴承的外圈；轴承的内圈套设连接于第一支撑柱的周壁。本技术方案，利用轴承的设置，实现对放置圆台的角度调节和高度调节，同时本技术方案的放置圆台还具有加热功能，如此，提高操作人员的工作效率，节约人力成本。
本实用新型一种晶圆的工作台装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的工作台装置，其特征在于，包括：上底托组件1和下底托组件2； 所述上底托组件1包括：放置圆台11和第一支撑柱12，所述放置圆台11的上端面用于放置晶圆盘，所述放置圆台11的下端面与所述第一支撑柱12的第一端连接； 所述下底托组件2包括：底座21、第二支撑柱22和旋转件； 所述第二支撑柱22的第一端固定有所述旋转件，所述第一支撑柱12通过所述旋转件可旋转的连接于所述第二支撑柱22；所述第二支撑柱22的第二端固定于所述底座21； 所述旋转件为轴承23；所述第二支撑柱22为空心圆柱结构； 所述第二支撑柱22的内周壁套设固定于所述轴承23的外圈231； 所述轴承23的内圈232套设连接于所述第一支撑柱12的周壁。
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