安徽华远装备科技有限公司袁世成获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华远装备科技有限公司申请的专利一种用于PECVD设备的气体匀热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223003021U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421693279.1，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型一种用于PECVD设备的气体匀热装置是由袁世成;杨娜;吴建清设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于PECVD设备的气体匀热装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及PECVD设备技术领域，具体涉及一种用于PECVD设备的气体匀热装置，包括加热组件和气体引入组件，还包括气体匀流板和喷气嘴，所述加热组件为铠装加热器组件，气体匀流板安装在铠装加热器组件上且相互连通，气体引入组件安装在加热组件的加热板上，气体引入组件通过气体匀流板、加热组件与喷气嘴连通，喷气嘴安装在加热组件的加热板下部。本实用新型将加热器与气体匀流结构融合为一个模块，使其同时具备了加热和气体匀流功能，气体通过加热器上的导流结构均匀的从若干个喷淋口出来，且出来的气体已经被加热到一定的温度；而且提高了腔室内部空间利用率，一定程度上了简化了安装维护的工作量。
本实用新型一种用于PECVD设备的气体匀热装置在权利要求书中公布了：1.一种用于PECVD设备的气体匀热装置，包括加热组件1和气体引入组件2，其特征在于：还包括气体匀流板3和喷气嘴4，所述加热组件1为铠装加热器组件，气体匀流板3安装在铠装加热器组件上且相互连通，气体引入组件2安装在加热组件1的加热板上，气体引入组件2通过气体匀流板3、加热组件1与喷气嘴4连通，喷气嘴4安装在加热组件1的加热板下部。
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