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江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司宗坚获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请的专利复合式镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223003028U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421656272.2,技术领域涉及:C23C16/50;该实用新型复合式镀膜设备是由宗坚设计研发完成,并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。

复合式镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型的实施例提供一种复合式镀膜设备,包括:镀膜腔体,包括用于放置待镀膜的基材的镀膜腔室;固体进料装置,与所述镀膜腔室相连通,用于输送固体原料经升华裂解后的气体至所述镀膜腔室内;以及等离子放电装置,用于在所述镀膜腔室内产生等离子体。根据本实用新型的实施例,该复合式镀膜设备将派瑞林镀膜技术与PECVD技术相结合,可以制备出具有多种功能的涂层。

本实用新型复合式镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种复合式镀膜设备,其特征在于,包括: 镀膜腔体,包括用于放置待镀膜的基材的镀膜腔室; 固体进料装置,与所述镀膜腔室相连通,用于输送固体原料经升华裂解后的气体至所述镀膜腔室内;以及 等离子放电装置,用于在所述镀膜腔室内产生等离子体; 其中,所述固体进料装置包括: 料仓,用于放置所述固体原料; 升华室,用于对所述固体原料进行加热升华; 转盘下料机构,用于将所述料仓内的所述固体原料可控地输送到所述升华室内;以及 裂解炉,用于将所述固体原料升华后的气体进行裂解反应并输送到所述镀膜腔室中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区新华路277号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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