浙江晶盛光子科技有限公司王树林获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶盛光子科技有限公司申请的专利进出舟流转装置及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223003030U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421640436.2,技术领域涉及:C23C16/54;该实用新型进出舟流转装置及镀膜设备是由王树林;杨震设计研发完成,并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本进出舟流转装置及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种进出舟流转装置及镀膜设备,涉及薄膜沉积技术领域。该进出舟流转装置设于机架内,包括进舟传送组件、出舟传送组件和舟中转台,进舟传送组件用于将装载待镀膜产品的舟传送至机架内;出舟传送组件用于将装载已镀膜产品的舟传送出机架;舟中转台可升降地设于进舟传送组件和出舟传送组件之间,进舟传送组件将装载待镀膜产品的舟传送至舟中转台上,舟中转台升降,能将装载待镀膜产品的舟传送至不同高度的反应腔;且能从不同高度的反应腔内接收装载已镀膜产品的舟,并将装载已镀膜产品的舟传送至出舟传送组件。该进出舟流转装置能实现位于不同高度的反应腔的进出舟,提高了进出舟效率。
本实用新型进出舟流转装置及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.进出舟流转装置,设于机架100内,其特征在于,包括: 进舟传送组件1,用于将装载待镀膜产品的舟传送至所述机架100内; 出舟传送组件2,用于将装载已镀膜产品的舟传送出所述机架100; 舟中转台3,可升降地设于所述进舟传送组件1和所述出舟传送组件2之间,所述进舟传送组件1将所述装载待镀膜产品的舟传送至所述舟中转台3上,所述舟中转台3升降,能将所述装载待镀膜产品的舟传送至不同高度的反应腔200,且能从不同高度的反应腔200内接收所述装载已镀膜产品的舟,并将所述装载已镀膜产品的舟传送至所述出舟传送组件2。
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