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江苏亚电科技股份有限公司李刚获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗花篮抓取装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223006755U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421648513.9,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆清洗花篮抓取装置是由李刚;童建;顾梦琪设计研发完成,并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆清洗花篮抓取装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆清洗花篮抓取装置,涉及抓取装置技术领域,包括支架和花篮机构,所述花篮机构包括清洗花篮篮体,所述清洗花篮篮体的一侧等距开设有多个进水孔,所述清洗花篮篮体的顶部设置有浮板,所述清洗花篮篮体的内壁中部固定连接有分隔板,所述支架的底部设置有旋转沥水机构,通过设置固定机构,可以在使用时,通过带动向上或者向下运动,可以使得两个移动板相向或者反向运动,从而可以完成对清洗花篮篮体的夹持,同时通过设置卡接板,可以与清洗花篮篮体的上沿处相卡合,以此可以增大固定机构与清洗花篮篮体之间的接触面积同时可以对清洗花篮篮体进行夹持,避免清洗花篮篮体发生掉落。

本实用新型一种晶圆清洗花篮抓取装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆清洗花篮抓取装置,包括支架(1)和花篮机构(2),所述花篮机构(2)包括清洗花篮篮体(201),所述清洗花篮篮体(201)的一侧等距开设有多个进水孔(202),所述清洗花篮篮体(201)的顶部设置有浮板(203),所述清洗花篮篮体(201)的内壁中部固定连接有分隔板(204),其特征在于:所述支架(1)的底部设置有旋转沥水机构(3),所述旋转沥水机构(3)用于对所述花篮机构(2)进行旋转; 所述旋转沥水机构(3)的底部设置有固定机构(4),所述固定机构(4)包括夹持单元(41)和驱动单元(42),所述夹持单元(41)和所述驱动单元(42)配合使用,所述固定机构(4)用于对所述花篮机构(2)进行夹持。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏亚电科技股份有限公司,其通讯地址为:225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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