苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利新型晶圆基板剥离抓取装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006761U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421621992.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型新型晶圆基板剥离抓取装置是由赵裕兴;杨磊设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本新型晶圆基板剥离抓取装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种新型晶圆基板剥离抓取装置，包括圆盘状结构的滑轨安装板，在吸盘气缸底部的驱动端驱动下方的吸盘安装块在竖直方向上移动，在吸盘安装块的底部安装有吸盘；伺服电机底部的驱动端与位于滑轨安装板下方的凸轮轨道槽盘相连接，滑轨与上方的滑块相连接且滑轨在滑轨安装板的径向上移动，滑轨的内侧通过凸轮轴承随动器与凸轮轨道槽相连接，在夹指安装块的底部安装有夹指。本实用新型采用吸盘吸附的同时利用三爪定心对产品粗定位便于二次取放，将夹爪和吸盘配合使用，还能防止转移产品过程中上下基板的错位或掉落，达到双保险的目的，降低产品损坏的风险。
本实用新型新型晶圆基板剥离抓取装置在权利要求书中公布了：1.新型晶圆基板剥离抓取装置，包括圆盘状结构的滑轨安装板5，在所述滑轨安装板5上沿着圆周方向均布有若干个气缸安装槽18，在所述气缸安装槽18内通过气缸安装块16安装有吸盘气缸15，在所述吸盘气缸15底部的驱动端驱动下方的吸盘安装块14在竖直方向上移动，在所述吸盘安装块14的底部安装有吸盘13；其特征在于：在所述滑轨安装板5上的中间位置通过电机转接板12安装有伺服电机17，所述伺服电机17底部的驱动端与位于滑轨安装板5下方的凸轮轨道槽盘11相连接，在所述凸轮轨道槽盘11上沿着圆周方向均布有若干个弧形结构的凸轮轨道槽，在所述滑轨安装板5的底部沿着圆周方向均布有若干个滑轨7，所述滑轨7沿着滑轨安装板5的径向分布，在所述滑轨7正上方的滑轨安装板5的底部安装有滑块21，所述滑轨7与上方的滑块21相连接且所述滑轨7在滑轨安装板5的径向上移动，所述滑轨7的内侧通过凸轮轴承随动器10与凸轮轨道槽相连接，在所述滑轨7的底部安装有夹指安装块8，在所述夹指安装块8的底部安装有夹指9。
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