江苏亚电科技股份有限公司钱诚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置双层快门结构及晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006737U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421622584.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗装置双层快门结构及晶圆清洗装置是由钱诚;李刚;陶彦;潘灵豪;沈文镇设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置双层快门结构及晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆清洗装置双层快门结构及晶圆清洗装置。本实用新型的晶圆清洗装置双层快门结构，门体为双层结构，内层耐腐蚀外层为防护罩，确保门体在长时间使用不被晶圆清洗装置内溢出的清洗液或者气体腐蚀。通过设置连接杆连接门体与滑块，使驱动件、滑轨、导轨、滑块与门体相隔离，防止清洗液或者气体腐蚀这些易腐蚀部件，提高结构整体的使用寿命。晶圆清洗装置应用了上述晶圆清洗装置双层快门结构。
本实用新型一种晶圆清洗装置双层快门结构及晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置双层快门结构，其特征在于，包括： 门体（1），为双层结构，包括，位于外侧防护板（12）和位于内侧的表面涂覆有防腐蚀涂层的内门板（11）； 安装板（2），位于门体（1）一侧，所述安装板（2）上设置有驱动件（3）、滑轨（22）、导轨（21）、滑块（23）；所述滑块（23）设置在滑轨（22）和导轨（21）上，所述驱动件（3）能够驱动滑块（23）在滑轨（22）和导轨（21）运动； 所述滑块（23）通过连接杆（25）与门体（1）连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏亚电科技股份有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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