广东先导微电子科技有限公司张浩获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种EPD扫描仪托盘与自动扫描仪设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006124U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421559196.3，技术领域涉及：G01N33/00；该实用新型一种EPD扫描仪托盘与自动扫描仪设备是由张浩;易明辉;张汪阳;周铁军设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种EPD扫描仪托盘与自动扫描仪设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体材料制造技术领域，具体公开了一种EPD扫描仪托盘与自动扫描仪设备，其中，EPD扫描仪托盘包括：检测盘、转动盘、多个连杆和多个移动桩；检测盘上设置有多个沿检测盘的径向延伸的滑槽；多个滑槽呈圆周间隔分布；移动桩可滑动设于滑槽内；转动盘可转动设置，且转动盘与检测盘同轴；连杆一端可转动连接转动盘，另一端可转动连接移动桩；多个连杆、多个移动桩与多个滑槽一一对应。本方案中，通过带动转动盘转动能够带动多个移动桩在滑槽内移动，从而调节多个移动桩所围成的夹持圆腔的直径，能够适配多种不同尺寸的晶片，实现在检测单晶片EPD的过程中无需更换托盘，有效提高检测单晶片EPD的效率。
本实用新型一种EPD扫描仪托盘与自动扫描仪设备在权利要求书中公布了：1.一种EPD扫描仪托盘，其特征在于，包括：检测盘（10）、转动盘（30）、多个连杆（40）和多个移动桩（20）； 所述检测盘（10）上设置有多个沿所述检测盘（10）的径向延伸的滑槽（11）； 多个所述滑槽（11）呈圆周间隔分布； 所述移动桩（20）可滑动设于所述滑槽（11）内； 所述转动盘（30）可转动设置，且所述转动盘与所述检测盘（10）同轴； 所述连杆（40）一端可转动连接所述转动盘（30），另一端可转动连接所述移动桩（20）； 多个所述连杆（40）、多个所述移动桩（20）与多个所述滑槽（11）一一对应。
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